一种太阳能电池片刻蚀设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621178676.0

申请日：

2016-10-27

公开(公告)号：

CN206505890U

公开(公告)日：

2017-09-19

发明(设计)人：

柯希满童锐杨大谊

申请人：

申请人地址：

215333 江苏省苏州市昆山市开发区蓬朗富春江路1288号（光电产业园）

IPC主分类号：

H01L21306

IPC分类号：

H01L2167 H01L3118

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

刘星

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-10-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20161027 授权公告日:20170919 终止日期:20181027
2017-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种太阳能电池片刻蚀设备及制作方法 [P].

柯希满 ;

童锐 ;

杨大谊 .

中国专利 :CN106449393A ,2017-02-22

[2]

一种太阳能电池片刻蚀机 [P].

石天明 .

中国专利 :CN214797348U ,2021-11-19

[3]

一种太阳能电池片刻蚀装置 [P].

柯希满 ;

童锐 ;

王柏钧 ;

杨大谊 .

中国专利 :CN206076260U ,2017-04-05

[4]

一种太阳能电池片刻蚀装置 [P].

段甜健 ;

程曦 ;

马熠隆 ;

夏伟 ;

包崇彬 ;

李质磊 ;

盛雯婷 ;

张凤鸣 .

中国专利 :CN202384378U ,2012-08-15

[5]

太阳能电池片刻蚀机传输装置 [P].

祁宏山 ;

肖新民 .

中国专利 :CN202167531U ,2012-03-14

[6]

一种减少太阳能电池片刻蚀酸用量的工艺方法 [P].

胡天赐 ;

崔红星 ;

张文锋 ;

胡应全 ;

林海峰 .

中国专利 :CN104505431A ,2015-04-08

[7]

一种太阳能电池片刻蚀液添加装置 [P].

樊选胜 ;

宛正 ;

杨恒春 .

中国专利 :CN222250037U ,2024-12-27

[8]

一种用于太阳能电池片刻蚀的喷淋装置 [P].

华重庆 ;

过渭平 .

中国专利 :CN205319128U ,2016-06-15

[9]

一种太阳能电池片刻蚀抗衰减装置 [P].

何林海 ;

王文杰 .

中国专利 :CN205347630U ,2016-06-29

[10]

一种太阳能电池片的制作方法 [P].

储凤舞 ;

童锐 ;

杨大谊 .

中国专利 :CN106486566A ,2017-03-08

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