铬版清洗辅助治具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721435075.8

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN207408738U

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

杜武兵林伟黄国勇

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市南山区朗山路16号华瀚创新园办公楼Ｄ座102

IPC主分类号：

G03F182

IPC分类号：

B08B304

代理机构：

深圳市翼智博知识产权事务所(普通合伙) 44320

代理人：

黄莉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

铬版清洗治具及清洗方法 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

黄国勇 .

中国专利 :CN111438133A ,2020-07-24

[2]

铬版贴片治具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN209182654U ,2019-07-30

[3]

铬版显影治具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

孙多卫 .

中国专利 :CN204314608U ,2015-05-06

[4]

辅助治具 [P].

刘志 ;

杨桥新 ;

梁浩宽 ;

柳巧凤 .

中国专利 :CN214041931U ,2021-08-24

[5]

铬版显影治具及使用该治具的显影槽 [P].

杜武兵 ;

孙多卫 ;

林伟 .

中国专利 :CN204215144U ,2015-03-18

[6]

光罩清洗辅助治具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

刘来孟 .

中国专利 :CN209486465U ,2019-10-11

[7]

铬版曝光治具及使用该治具的光刻机 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

黄国勇 .

中国专利 :CN204314606U ,2015-05-06

[8]

铬版清洗工具 [P].

吕振群 ;

林伟 .

中国专利 :CN215466500U ,2022-01-11

[9]

铬版清洗工具 [P].

杜武兵 ;

林伟 ;

吕振群 .

中国专利 :CN204314602U ,2015-05-06

[10]

清洗治具 [P].

卢芳万 .

中国专利 :CN110791764A ,2020-02-14

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