非破坏性检测线宽粗糙现象的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610127480.3

申请日：

2006-09-15

公开(公告)号：

CN101145535A

公开(公告)日：

2008-03-19

发明(设计)人：

孙介伟洪文凯林思闽

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹科学工业园区

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

G01B1130

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-07-21	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101003978730 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2006101274803 放弃生效日:20080319
2008-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

非破坏性检测模块 [P].

蔡永基 .

中国专利 :CN201689156U ,2010-12-29

[2]

密封构件的非破坏性检测 [P].

萨迪亚·布斯凯 ;

杰拉德·德瑞恩 ;

卡罗琳娜·加西亚-洛佩兹 ;

吉恩-杰克斯·奈德莱克 .

中国专利 :CN102459970B ,2012-05-16

[3]

非破坏性检测涂层错误的方法和系统 [P].

蒂尔曼·德尔 ;

西奥·哈克 ;

克里斯托弗·舒尔茨 ;

拉尔夫·费泽 .

中国专利 :CN102171556A ,2011-08-31

[4]

一种非破坏性检测衬底表面形貌的方法 [P].

庄燕萍 ;

邹永祥 ;

张轲 ;

王鹢奇 .

中国专利 :CN101312138A ,2008-11-26

[5]

用于以非破坏性方式应用破坏性固件更新的系统和方法 [P].

布拉德利·W·毕晓普 ;

韦恩·A·布里特森 ;

马修·S·斯平勒 .

中国专利 :CN101135979A ,2008-03-05

[6]

工件上的测试对象的非破坏性检测 [P].

马蒂亚斯·阿尔林 ;

卡尔·亨里克森 ;

奥古斯特·拉姆勒 ;

戈兰·伯格斯特龙 .

中国专利 :CN113785195A ,2021-12-10

[7]

用于挠性复合材料的非破坏性检测 [P].

J·G·诺克斯 ;

T·K·马克斯 .

中国专利 :CN103250040A ,2013-08-14

[8]

一种非破坏性检测表面形貌的方法 [P].

宫建茹 ;

崔金磊 .

中国专利 :CN103363946A ,2013-10-23

[9]

用于非破坏性检测输送带的装置 [P].

沃尔夫冈·施内尔 .

中国专利 :CN101137557B ,2008-03-05

[10]

用于轮胎异常的非破坏性检测的方法和装置 [P].

G·本杰特 ;

T·库费斯 ;

沈勤 ;

F·格拉姆林 ;

D·贾德 .

中国专利 :CN105637338A ,2016-06-01

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