等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03800685.5

申请日：

2003-07-03

公开(公告)号：

CN1533596A

公开(公告)日：

2004-09-29

发明(设计)人：

大见忠弘平山昌树后藤哲也

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2131

IPC分类号：

C23C16511 H05H146

代理机构：

北京东方亿思专利代理有限责任公司

代理人：

柳春雷;李其华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-12-15	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-23	授权	授权
2015-08-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101622493329 IPC(主分类):H01L 21/31 专利号:ZL038006855 申请日:20030703 授权公告日:20080723 终止日期:20140703
2004-09-29	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

平山昌树 ;

须川成利 ;

后藤哲也 .

中国专利 :CN1460286A ,2003-12-03

[2]

等离子体处理装置 [P].

大见忠弘 ;

野泽俊久 ;

森田治 ;

汤浅珠树 ;

小谷光司 .

中国专利 :CN1875467A ,2006-12-06

[3]

等离子体处理装置、等离子体处理方法 [P].

石川拓 ;

户部康弘 .

中国专利 :CN101622698B ,2010-01-06

[4]

等离子体处理装置及等离子体处理方法 [P].

平山昌树 ;

大见忠弘 .

中国专利 :CN102057465A ,2011-05-11

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

藤井祐希 .

中国专利 :CN107275179A ,2017-10-20

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

堀口贵弘 ;

冈信介 .

中国专利 :CN100536634C ,2006-11-15

[7]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

金子和史 .

中国专利 :CN114302547A ,2022-04-08

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

里吉务 ;

佐藤亮 ;

佐佐木和男 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN100543944C ,2005-11-09

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

平山昌树 .

中国专利 :CN113170568A ,2021-07-23

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

米泽亮太 ;

高桥哲朗 ;

大崎良规 ;

铃木公贵 ;

齐藤智博 ;

山下润 ;

佐藤吉宏 ;

盐泽俊彦 ;

山崎幸一 ;

古木和弘 .

中国专利 :CN102753727A ,2012-10-24

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