金属硅化物的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710094259.7

申请日：

2007-11-22

公开(公告)号：

CN101442005A

公开(公告)日：

2009-05-27

发明(设计)人：

陈华伦熊涛陈瑜罗啸

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

H01L213205

IPC分类号：

H01L21768 H01L2128

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

丁纪铁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-27	公开	公开
2011-02-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101066311701 IPC(主分类):H01L 21/3205 专利申请号:2007100942597 公开日:20090527
2009-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

金属硅化物的制备方法 [P].

刘莎莎 ;

闫家翔 ;

徐丰 ;

黄鹏 ;

王函 .

中国专利 :CN120936115A ,2025-11-11

[2]

金属硅化物的制备方法 [P].

王媛 ;

张步新 .

中国专利 :CN101431019A ,2009-05-13

[3]

制备金属硅化物的方法 [P].

刘焕新 .

中国专利 :CN102403211A ,2012-04-04

[4]

金属硅化物的制备方法 [P].

顾学强 ;

肖慧敏 ;

陈力山 .

中国专利 :CN102176414A ,2011-09-07

[5]

金属硅化物的制造方法 [P].

郭振强 ;

樊颖涛 .

中国专利 :CN118471797A ,2024-08-09

[6]

金属硅化物制造方法 [P].

罗军 ;

邓坚 ;

赵超 ;

钟汇才 ;

李俊峰 ;

陈大鹏 .

中国专利 :CN103377894A ,2013-10-30

[7]

金属硅化物薄膜的制备方法 [P].

许广勤 ;

刘运龙 .

中国专利 :CN101399203A ,2009-04-01

[8]

镍金属硅化物的制备方法 [P].

肖天金 ;

邱裕明 .

中国专利 :CN105575790A ,2016-05-11

[9]

用于制备金属硅化物的方法 [P].

T·H·W·余 ;

佐佐木信之 .

美国专利 :CN117480587A ,2024-01-30

[10]

金属硅化物制作方法 [P].

谭秀文 ;

郑刚 ;

张召 .

中国专利 :CN111128704A ,2020-05-08

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