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工艺气体分配系统和工艺气体分配系统的使用
被引：0
申请号：
CN202180039247.2
申请日：
2021-03-25
公开(公告)号：
CN115551628A
公开(公告)日：
2022-12-30
发明(设计)人：
F·奥伦多夫
A·泰维斯
L·弗里德里希
M·雅各布
申请人：
申请人地址：
德国魏玛
IPC主分类号：
B01J400
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
万宇;万欣
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-30 | 公开 | 公开 |