静电式微机械全光开关

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN02268460.3

申请日：

2002-07-25

公开(公告)号：

CN2555511Y

公开(公告)日：

2003-06-11

发明(设计)人：

徐永青杨拥军赵彦军梁春广

申请人：

申请人地址：

050051河北省石家庄市合作路113号38分箱

IPC主分类号：

G02B635

IPC分类号：

H04J1402 H04B1012

代理机构：

石家庄冀科专利事务所有限公司

代理人：

高锡明

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-09-13	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2003-06-11	授权	授权

共 50 条

[1]

静电式微机械全光开关制造方法 [P].

徐永青 ;

杨拥军 ;

梁春广 ;

赵彦军 .

中国专利 :CN1391118A ,2003-01-15

[2]

直梁屈曲静电式微机械光开关 [P].

田文超 ;

山磊 .

中国专利 :CN103033885B ,2013-04-10

[3]

水银式微机械惯性开关 [P].

吕苗 ;

赵正平 ;

邹学锋 .

中国专利 :CN2499962Y ,2002-07-10

[4]

大动态微机械可变光衰减器 [P].

李海军 ;

杨拥军 ;

徐永青 ;

郑七龙 .

中国专利 :CN2852155Y ,2006-12-27

[5]

水银式微机械惯性开关制造方法 [P].

吕苗 ;

赵正平 ;

邹学锋 .

中国专利 :CN1333542A ,2002-01-30

[6]

微机械光开关阵列 [P].

涂相征 ;

李韫言 .

中国专利 :CN1172204C ,2002-09-25

[7]

静电致动的微机械开关器件 [P].

J·弗梅尔 ;

T·盖斯纳 ;

C·考夫曼 ;

S·雷迪赫 ;

M·诺瓦克 ;

S·库尔特 ;

A·贝特兹 ;

池田浩一 ;

秋叶朗 .

中国专利 :CN102290289A ,2011-12-21

[8]

电容式微机械开关 [P].

郑惟彬 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN1257573C ,2003-10-29

[9]

微机械开关的制备方法及微机械开关 [P].

王喆垚 .

中国专利 :CN119706735A ,2025-03-28

[10]

微机械开关的制备方法及微机械开关 [P].

王喆垚 .

中国专利 :CN119706735B ,2025-10-24

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