共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
温度调整装置和温度调整装置的控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911366531.1
申请日：
2019-12-26
公开(公告)号：
CN111383963A
公开(公告)日：
2020-07-07
发明(设计)人：
小林启
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01J3732
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-07-07 | 公开 | 公开 |
| 2021-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191226 |