合成石英玻璃基板用研磨剂及其制备方法以及合成石英玻璃基板的研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880024428.6

申请日：

2018-03-19

公开(公告)号：

CN110546233A

公开(公告)日：

2019-12-06

发明(设计)人：

高桥光人野岛义弘

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C09K314

IPC分类号：

B24B3700 C03C1900 C09G102

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶;谢顺星

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-25	授权	授权
2020-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09K 3/14 申请日:20180319
2019-12-06	公开	公开

共 50 条

[1]

合成石英玻璃基板用研磨剂及合成石英玻璃基板的研磨方法 [P].

高桥光人 ;

野岛义弘 .

中国专利 :CN109104866A ,2018-12-28

[2]

合成石英玻璃基板用研磨剂以及合成石英玻璃基板的研磨方法 [P].

高桥光人 ;

野岛义弘 .

中国专利 :CN107532066B ,2018-01-02

[3]

合成石英玻璃基板的研磨用研磨粒子及其制造方法，与合成石英玻璃基板的研磨方法 [P].

高桥光人 .

中国专利 :CN111117566A ,2020-05-08

[4]

合成石英玻璃基板用的抛光剂及其制备方法、以及合成石英玻璃基板的抛光方法 [P].

高桥光人 .

中国专利 :CN112004906A ,2020-11-27

[5]

合成石英玻璃基板用的抛光剂及合成石英玻璃基板的抛光方法 [P].

高桥光人 .

中国专利 :CN111373006A ,2020-07-03

[6]

合成石英玻璃基板用的抛光剂及该抛光剂的制备方法、以及合成石英玻璃基板的抛光方法 [P].

高桥光人 .

中国专利 :CN115605554A ,2023-01-13

[7]

合成石英玻璃基板的制备方法 [P].

石塚洋行 ;

渡部厚 ;

原田大实 ;

竹内正树 .

中国专利 :CN107176794A ,2017-09-19

[8]

合成石英玻璃基板的制备方法 [P].

八木寿 ;

原田大实 ;

竹内正树 ;

代田和雄 ;

青木一彦 .

中国专利 :CN106242311A ,2016-12-21

[9]

合成石英玻璃基板用抛光剂 [P].

原田大实 ;

竹内正树 ;

柴野由纪夫 ;

上田修平 ;

渡部厚 .

中国专利 :CN101821058A ,2010-09-01

[10]

合成石英玻璃基板的制造方法 [P].

石塚洋行 ;

渡部厚 ;

竹内正树 .

中国专利 :CN110561277A ,2019-12-13

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