硅压阻式气体压力传感器

被引：0

申请号：

CN202122872613.2

申请日：

2021-11-22

公开(公告)号：

CN216746537U

公开(公告)日：

2022-06-14

发明(设计)人：

张建国杨格王海峰陈建环郑灿林

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙岗区平湖街道力昌社区平龙东路349号2#厂房B401

IPC主分类号：

G01L902

IPC分类号：

G01L1900 G01L120

代理机构：

深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542

代理人：

王韬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-14	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS硅压阻式气体压力传感器 [P].

张建国 ;

杨格 ;

王海峰 ;

陈建环 ;

郑灿林 .

中国专利 :CN114061824A ,2022-02-18

[2]

便于维修的硅压阻式气体压力传感器 [P].

张建国 ;

杨格 ;

王海峰 ;

陈建环 ;

郑灿林 .

中国专利 :CN216746539U ,2022-06-14

[3]

快速安装的智能硅压阻式气体压力传感器 [P].

张建国 ;

杨格 ;

王海峰 ;

陈建环 ;

郑灿林 .

中国专利 :CN216746541U ,2022-06-14

[4]

气密性好的硅压阻式气体压力传感器 [P].

张建国 ;

杨格 ;

王海峰 ;

陈建环 ;

郑灿林 .

中国专利 :CN216746540U ,2022-06-14

[5]

应用于滤网的智能硅压阻式气体压力传感器 [P].

张建国 ;

杨格 ;

王海峰 ;

陈建环 ;

郑灿林 .

中国专利 :CN216746542U ,2022-06-14

[6]

硅压阻式压力传感器 [P].

李颂 .

中国专利 :CN107525614A ,2017-12-29

[7]

一种小型硅压阻式气体压力传感器结构 [P].

戴志华 ;

蔡春梅 ;

苏世俊 ;

柯银鸿 ;

翁新全 ;

许静玲 .

中国专利 :CN206670840U ,2017-11-24

[8]

平膜硅压阻式压力传感器 [P].

高峰 .

中国专利 :CN202886053U ,2013-04-17

[9]

硅压阻式压力传感器封装结构 [P].

王毅 ;

王军 ;

张孔欣 .

中国专利 :CN208399071U ,2019-01-18

[10]

用于测量气体与液体压力的硅压阻式MEMS压力传感器 [P].

曹伽牧 ;

曹一江 ;

周晶 ;

兰兰 ;

杨阳 .

中国专利 :CN203191141U ,2013-09-11

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