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一种曝光机安全防护结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121854942.8
申请日：
2021-08-09
公开(公告)号：
CN215181405U
公开(公告)日：
2021-12-14
发明(设计)人：
朱宏伟
肖帆
王刘飘
申请人：
申请人地址：
221000 江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园标准厂房5号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
南京聚匠知识产权代理有限公司 32339
代理人：
刘囝
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-14 | 授权 | 授权 |