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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-04-10 | 授权 | 授权 |
| 2015-10-14 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721787503 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010105026067 申请日:20100930 授权公告日:20130410 登记生效日:20150905 解除日:无 |
| 2014-01-01 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101684305302 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010105026067 申请日:20100930 授权公告日:20130410 登记生效日:20131205 解除日:无 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20100930 授权公告日:20130410 终止日期:20130930 |
| 2015-10-14 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101721785448 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010105026067 申请日:20100930 授权公告日:20130410 登记生效日:无 解除日:20150905 |
| 2011-07-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 申请日:20100930 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101086499963 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2010105026067 |
| 2014-10-22 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706224467 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010105026067 申请日:20100930 授权公告日:20130410 登记生效日:无 解除日:20140905 |
| 2011-05-25 | 公开 | 公开 |
| 2014-10-22 | 专利权的保全及其解除 | 专利权的保全 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101706224468 IPC(主分类):H01L 21/67 专利号:ZL2010105026067 申请日:20100930 授权公告日:20130410 登记生效日:20140905 解除日:无 |
| 2021-10-22 | 专利权的保全及其解除 | 专利权保全的解除 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20100930 授权公告日:20130410 解除日:20210905 |