大尺寸晶圆上制备金刚石衬底太赫兹二极管的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110160989.2

申请日：

2021-02-05

公开(公告)号：

CN112967923B

公开(公告)日：

2021-06-15

发明(设计)人：

宋旭波梁士雄吕元杰王元刚敦少博韩婷婷马春雷冯志红

申请人：

申请人地址：

050051 河北省石家庄市合作路113号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2160 H01L21329

代理机构：

石家庄国为知识产权事务所 13120

代理人：

柳萌

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-10	授权	授权
2021-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20210205
2021-06-15	公开	公开

共 50 条

[1]

用于太赫兹肖特基二极管的多孔金刚石衬底的制备方法 [P].

吕元杰 ;

宋旭波 ;

徐森锋 ;

王元刚 ;

付兴昌 ;

梁士雄 ;

郭红雨 ;

冯志红 .

中国专利 :CN112992675B ,2021-06-18

[2]

金刚石肖特基二极管的制备方法 [P].

周闯杰 ;

王晶晶 ;

蔚翠 ;

何泽召 ;

郭建超 ;

刘庆彬 ;

高学栋 ;

冯志红 .

中国专利 :CN108206220A ,2018-06-26

[3]

金刚石肖特基二极管 [P].

周闯杰 ;

王晶晶 ;

蔚翠 ;

何泽召 ;

郭建超 ;

刘庆彬 ;

高学栋 ;

冯志红 .

中国专利 :CN207624707U ,2018-07-17

[4]

用于太赫兹肖特基二极管的多孔衬底 [P].

王俊龙 ;

冯志红 ;

邢东 ;

梁士雄 ;

张立森 ;

杨大宝 ;

张雄文 ;

宋旭波 ;

何泽召 ;

蔚翠 .

中国专利 :CN103258843A ,2013-08-21

[5]

用于太赫兹肖特基二极管的多孔衬底 [P].

王俊龙 ;

冯志红 ;

邢东 ;

梁士雄 ;

张立森 ;

杨大宝 ;

张雄文 ;

宋旭波 ;

何泽召 ;

蔚翠 .

中国专利 :CN203300652U ,2013-11-20

[6]

一种金刚石与GaAs太赫兹肖特基二极管集成的方法 [P].

吴立枢 ;

牛斌 ;

孔月婵 ;

陈堂胜 .

中国专利 :CN112435919B ,2021-03-02

[7]

太赫兹肖特基二极管 [P].

王昊 .

中国专利 :CN102903761B ,2013-01-30

[8]

一种金刚石肖特基二极管 [P].

王宏兴 ;

胡超 ;

王玮 ;

张景文 ;

卜忍安 ;

侯洵 .

中国专利 :CN204516774U ,2015-07-29

[9]

带边缘终端的金刚石肖特基二极管的制备方法 [P].

郁鑫鑫 ;

周建军 ;

吴云 ;

孔月婵 .

中国专利 :CN114530487A ,2022-05-24

[10]

太赫兹肖特基二极管的制造方法 [P].

王昊 .

中国专利 :CN102891081A ,2013-01-23

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