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一种纳米真空镀膜用冶具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920505385.5
申请日：
2019-04-15
公开(公告)号：
CN209722276U
公开(公告)日：
2019-12-03
发明(设计)人：
江成龙
申请人：
申请人地址：
215500 江苏省苏州市常熟虞山高新技术产业园苏州路40号1幢
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-03 | 授权 | 授权 |
| 2022-04-12 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/22 申请日:20190415 授权公告日:20191203 终止日期:20210415 |