一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法

被引：0

申请号：

CN202211052728.X

申请日：

2022-08-31

公开(公告)号：

CN115558928A

公开(公告)日：

2023-01-03

发明(设计)人：

郭光龙杜勇徐华伟沈洵

申请人：

申请人地址：

314200 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号5幢101室

IPC主分类号：

C23F108

IPC分类号：

B65H23188 C23C1402 C23C1424

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

金国栋;孙安程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20220831
2023-01-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

郭光龙 ;

杜勇 ;

徐华伟 ;

沈洵 .

中国专利 :CN115558928B ,2024-10-22

[2]

一种蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

陈秋阳 ;

程威 ;

肖妮 .

中国专利 :CN120164824A ,2025-06-17

[3]

一种用于非平面基材的蚀刻方法和蚀刻装置 [P].

刘若鹏 ;

金曦 ;

王旭伟 .

中国专利 :CN102819185B ,2012-12-12

[4]

基材蚀刻机构、真空处理装置及基材蚀刻方法 [P].

大丸智弘 ;

三上隆司 .

中国专利 :CN102245812A ,2011-11-16

[5]

蚀刻液的再生方法，蚀刻方法及蚀刻装置 [P].

伊豆田信彦 ;

渡津春留 .

中国专利 :CN101303976A ,2008-11-12

[6]

用于提高石英坩埚内表面粗糙度的蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

马荣天 ;

李鑫 ;

侯元浩 ;

王建军 ;

何玉鹏 ;

马万保 ;

闫素婷 ;

史海贝 .

中国专利 :CN119409421A ,2025-02-11

[7]

一种晶圆蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

李健儿 ;

冯永 ;

胡仲波 ;

敬春云 ;

蒋红全 .

中国专利 :CN114937628A ,2022-08-23

[8]

一种掩模板蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

李红娇 ;

曾振瑞 ;

李宥陞 ;

张宇涵 .

中国专利 :CN117761965A ,2024-03-26

[9]

一种PCB板蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

沈志刚 ;

沈国良 .

中国专利 :CN119255499A ,2025-01-03

[10]

一种PCB板蚀刻装置及蚀刻方法 [P].

吴佳俊 ;

何宏伦 ;

廖善良 .

中国专利 :CN120751617A ,2025-10-03

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