基于飞秒激光辅助湿法刻蚀制备光纤端面微透镜阵列技术

被引：0

申请号：

CN202210270873.9

申请日：

2022-03-18

公开(公告)号：

CN114815066A

公开(公告)日：

2022-07-29

发明(设计)人：

李正勇梁磊涂彬

申请人：

申请人地址：

528437 广东省中山市火炬开发区祥兴路6号数贸大厦南冀3层309卡

IPC主分类号：

G02B6255

IPC分类号：

C03C2568

代理机构：

深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙) 44434

代理人：

宋鹏飞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-29	公开	公开
2022-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 6/255 申请日:20220318

共 50 条

[1]

利用飞秒激光湿法刻蚀制备准周期微透镜阵列的方法 [P].

陈烽 ;

边浩 ;

胡洋 ;

杨青 ;

杜广庆 .

中国专利 :CN103018799B ,2013-04-03

[2]

利用飞秒激光增强化学刻蚀制备大规模微透镜阵列的方法 [P].

陈烽 ;

杨青 ;

胡洋 ;

王先华 ;

瞿谱波 ;

刘贺炜 ;

司金海 ;

侯洵 .

中国专利 :CN102785025B ,2012-11-21

[3]

基于飞秒激光器的光纤端面的加工方法 [P].

顾曼娜 ;

程晨 ;

桂维玲 ;

周玉翔 ;

于梦涵 ;

刘畅 ;

王浩岳 .

中国专利 :CN113681151A ,2021-11-23

[4]

飞秒激光增强化学刻蚀制备微透镜阵列光束整形器的方法 [P].

杨青 ;

陈烽 ;

卢静 ;

赵玉龙 ;

王先华 ;

刘贺炜 .

中国专利 :CN102759800A ,2012-10-31

[5]

光刻和湿法刻蚀相结合制备双面随机微透镜阵列的方法 [P].

曹阿秀 ;

薛莉 ;

邓启凌 ;

庞辉 .

中国专利 :CN113031129A ,2021-06-25

[6]

基于飞秒激光直写FBG阵列的掺铒光纤激光器 [P].

何巍 ;

祝连庆 ;

于明鑫 ;

闫光 ;

张钰民 ;

董明利 ;

娄小平 .

中国专利 :CN109616858A ,2019-04-12

[7]

一种基于飞秒激光处理和湿法刻蚀的硅微结构加工方法 [P].

陈涛 ;

司金海 ;

马云灿 ;

潘安 ;

陈烽 ;

侯洵 .

中国专利 :CN103232023A ,2013-08-07

[8]

一种基于飞秒激光微加工的微纳光纤振动传感器 [P].

江毅 ;

张柳超 ;

姜澜 ;

王素梅 ;

李晓炜 .

中国专利 :CN106124028A ,2016-11-16

[9]

多次同向刻蚀制备微透镜阵列的模具的方法 [P].

王淼 .

中国专利 :CN111221059B ,2020-06-02

[10]

基于微透镜阵列的激光整形照明器 [P].

范志刚 ;

陈婷 ;

薛文慧 ;

陈守谦 ;

张旺 .

中国专利 :CN104991347A ,2015-10-21

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