基板热处理装置、基板热处理方法以及热处理状态检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510617497.6

申请日：

2015-09-24

公开(公告)号：

CN105470165A

公开(公告)日：

2016-04-06

发明(设计)人：

东广大三坂晋一朗

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-06	公开	公开
2017-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101715575156 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015106174976 申请日:20150924
2019-04-19	授权	授权

共 50 条

[1]

热处理装置、热处理方法以及基板处理设备 [P].

全瑛恩 ;

朴钟源 ;

崔圣慜 ;

崔宇男 ;

高建熙 ;

朴洧柾 ;

沈炡珉 .

韩国专利 :CN119108300A ,2024-12-10

[2]

基板热处理装置和基板热处理方法 [P].

大谷响 ;

藤瀬辽平 .

日本专利 :CN118156175A ,2024-06-07

[3]

热处理方法和热处理装置、基板处理装置 [P].

三好秀典 .

中国专利 :CN101461042A ,2009-06-17

[4]

热处理装置、基板处理装置、热处理方法及基板处理方法 [P].

春本将彦 ;

浅井正也 ;

田中裕二 ;

金山幸司 .

中国专利 :CN107768277A ,2018-03-06

[5]

热处理装置以及热处理方法 [P].

吉井弘治 ;

山口达也 ;

王文凌 ;

斋藤孝规 .

中国专利 :CN102737988A ,2012-10-17

[6]

热处理装置、基板处理装置和热处理方法 [P].

稻垣幸彦 .

中国专利 :CN107658237A ,2018-02-02

[7]

基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法 [P].

S·普林格 .

中国专利 :CN112838029A ,2021-05-25

[8]

基板热处理装置 [P].

中根慎悟 .

中国专利 :CN101276735B ,2008-10-01

[9]

基板支撑装置、热处理装置、基板支撑方法、热处理方法 [P].

S·普林格 .

日本专利 :CN112838029B ,2025-01-14

[10]

基板的热处理方法以及热处理炉 [P].

青木道郎 .

中国专利 :CN1517962A ,2004-08-04

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