一种薄膜制作方法及系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710313249.1
申请日
2017-05-05
公开(公告)号
CN107146859A
公开(公告)日
2017-09-08
发明(设计)人
廖金龙 闫光 吴长晏
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
H01L5156
IPC分类号
代理机构
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人
周娟
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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