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反应容器供给装置及反应容器供给方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202011001581.2
申请日
:
2020-09-22
公开(公告)号
:
CN112129961A
公开(公告)日
:
2020-12-25
发明(设计)人
:
张少鹏
龚伟
张珥
高智诚
申请人
:
申请人地址
:
611731 四川省成都市高新区安和二路8号4栋
IPC主分类号
:
G01N3504
IPC分类号
:
代理机构
:
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人
:
刘敏
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-12-25
公开
公开
2021-01-12
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 35/04 申请日:20200922
共 50 条
[1]
反应容器供给装置及反应容器供给方法
[P].
张少鹏
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
迈克医疗电子有限公司
迈克医疗电子有限公司
张少鹏
;
龚伟
论文数:
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0
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机构:
迈克医疗电子有限公司
迈克医疗电子有限公司
龚伟
;
张珥
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0
机构:
迈克医疗电子有限公司
迈克医疗电子有限公司
张珥
;
高智诚
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
迈克医疗电子有限公司
迈克医疗电子有限公司
高智诚
.
中国专利
:CN112129961B
,2025-12-30
[2]
反应容器供给装置
[P].
张少鹏
论文数:
0
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张少鹏
;
龚伟
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龚伟
;
张珥
论文数:
0
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张珥
;
高智诚
论文数:
0
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0
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0
高智诚
.
中国专利
:CN213337677U
,2021-06-01
[3]
容器供给装置及容器供给方法
[P].
桐原浩一
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桐原浩一
;
小池晴彦
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小池晴彦
;
原浩二
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原浩二
;
兵头知也
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0
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兵头知也
.
中国专利
:CN112794090B
,2021-05-14
[4]
容器供给装置
[P].
浅野国隆
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浅野国隆
;
片根忠弘
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片根忠弘
;
大森修治
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大森修治
.
中国专利
:CN105383910A
,2016-03-09
[5]
容器供给装置
[P].
四日义城
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四日义城
.
中国专利
:CN103508002B
,2014-01-15
[6]
容器供给装置
[P].
山本英仁
论文数:
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山本英仁
;
片山裕司
论文数:
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0
片山裕司
;
藤本雅史
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藤本雅史
;
吉田喜巳
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吉田喜巳
;
植田道雄
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植田道雄
.
中国专利
:CN1318496A
,2001-10-24
[7]
容器供给装置
[P].
砂田雅弘
论文数:
0
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0
砂田雅弘
.
中国专利
:CN103482138B
,2014-01-01
[8]
反应流体供给装置
[P].
藤田悟朗
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藤田悟朗
;
株本浩挥
论文数:
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株本浩挥
;
矢野正也
论文数:
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引用数:
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矢野正也
.
中国专利
:CN1595693A
,2005-03-16
[9]
反应源供给装置
[P].
张亚兵
论文数:
0
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
张亚兵
;
韩立仁
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
韩立仁
;
赵晋荣
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机构:
北京北方华创微电子装备有限公司
北京北方华创微电子装备有限公司
赵晋荣
.
中国专利
:CN222524665U
,2025-02-25
[10]
反应气体供给装置
[P].
李菁
论文数:
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李菁
;
魏强
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0
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0
魏强
.
中国专利
:CN202830168U
,2013-03-27
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