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平面度检测设备
被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN201530372397.2
申请日：
2015-09-24
公开(公告)号：
CN303590332S
公开(公告)日：
2016-02-17
发明(设计)人：
孙鹏
高云峰
申请人：
申请人地址：
518055 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号
IPC主分类号：
1005
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-08-05 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 主分类号:10-05 登记生效日:20220725 变更事项:专利权人 变更前权利人:大族激光科技产业集团股份有限公司 变更后权利人:深圳市大族半导体装备科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:518055 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号 变更后权利人:518000 广东省深圳市宝安区福海街道桥头社区万延工业区第六栋101 |
| 2016-02-17 | 授权 | 授权 |