一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721712564.3

申请日：

2017-12-11

公开(公告)号：

CN207634655U

公开(公告)日：

2018-07-20

发明(设计)人：

黄昌盛徐美婷楼允洪

申请人：

申请人地址：

310012 浙江省杭州市西湖区古翠路76号怡泰科技大厦501室

IPC主分类号：

F16H57029

IPC分类号：

F16H5704 F16H57023 F16H5702

代理机构：

杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213

代理人：

吴秉中

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-14	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):F16H 57/029 变更事项:专利权人变更前:浙江微磁精密技术有限公司变更后:浙江微磁精密技术股份有限公司变更事项:地址变更前:313300 浙江省湖州市安吉县递铺街道安吉经济开发区两山高新技术工业园变更后:313300 浙江省湖州市安吉县递铺街道安吉经济开发区两山高新技术工业园
2018-07-20	授权	授权
2019-01-08	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):F16H 57/029 登记生效日:20181219 变更事项:专利权人变更前权利人:杭州维科磁电技术有限公司变更后权利人:浙江微磁精密技术有限公司变更事项:地址变更前权利人:310012 浙江省杭州市西湖区古翠路76号怡泰科技大厦501室变更后权利人:313300 浙江省湖州市安吉县递铺街道安吉经济开发区两山高新技术工业园

共 50 条

[1]

一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置 [P].

雷世友 ;

张松华 .

中国专利 :CN212080166U ,2020-12-04

[2]

一种磁流体密封传动装置 [P].

胡莉丽 ;

丛树圣 ;

叶盛森 .

中国专利 :CN223331140U ,2025-09-12

[3]

真空设备传动轴用磁流体密封传动装置 [P].

梁志华 ;

邓朝阳 ;

裴宁 ;

罗喜梅 .

中国专利 :CN2447582Y ,2001-09-12

[4]

一种磁流体密封传动装置 [P].

伍丰伟 .

中国专利 :CN216045448U ,2022-03-15

[5]

一种多通道气路和水路集成的磁流体密封传动装置 [P].

徐美婷 ;

黄昌盛 ;

楼允洪 .

中国专利 :CN207848417U ,2018-09-11

[6]

一种磁流体密封传动装置 [P].

施广博 ;

张寅浩 .

中国专利 :CN223690323U ,2025-12-19

[7]

真空设备及其磁流体密封传动装置 [P].

田勇 ;

刘光 .

中国专利 :CN218207805U ,2023-01-03

[8]

传动轴用磁流体密封传动装置 [P].

董珈静 ;

王君妍 ;

唐纬虹 ;

闫发发 ;

杨晓禹 .

中国专利 :CN216867506U ,2022-07-01

[9]

传动轴用磁流体密封传动装置 [P].

邓朝阳 .

中国专利 :CN2473397Y ,2002-01-23

[10]

真空设备超小直径传动轴磁流体密封传动装置 [P].

罗喜梅 ;

梁志华 ;

邓朝阳 ;

裴宁 .

中国专利 :CN2448954Y ,2001-09-19

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