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一种用于大尺寸单晶金刚石拼接生长工艺
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202011281272.5
申请日
:
2020-11-16
公开(公告)号
:
CN112391680A
公开(公告)日
:
2021-02-23
发明(设计)人
:
张涛
闫石
赵效铭
申请人
:
申请人地址
:
101320 北京市顺义区仁和镇林河北大街21号院1幢5层2单元606
IPC主分类号
:
C30B3306
IPC分类号
:
C30B2904
C30B2520
代理机构
:
北京科迪生专利代理有限责任公司 11251
代理人
:
安丽
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-03-12
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 33/06 申请日:20201116
2021-02-23
公开
公开
共 50 条
[1]
一种大尺寸单晶金刚石拼接生长方法
[P].
邹广田
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邹广田
;
李根壮
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李根壮
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吕宪义
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吕宪义
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王启亮
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王启亮
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李柳暗
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李柳暗
;
谢文良
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谢文良
;
林旺
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林旺
;
董成威
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董成威
.
中国专利
:CN114150376A
,2022-03-08
[2]
一种拼接生长金刚石单晶的方法
[P].
王启亮
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王启亮
;
李红东
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李红东
;
邹广田
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邹广田
;
吕宪义
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吕宪义
;
成绍恒
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成绍恒
;
刘钧松
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刘钧松
;
高楠
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高楠
;
李柳暗
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李柳暗
.
中国专利
:CN113463192B
,2021-10-01
[3]
一种大尺寸单晶金刚石外延片的拼接生长方法
[P].
闫宁
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闫宁
;
赵延军
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赵延军
;
范波
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范波
;
徐帅
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徐帅
.
中国专利
:CN110079860A
,2019-08-02
[4]
高效大尺寸单晶金刚石的生长方法和装置
[P].
刘胜
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刘胜
;
汪启军
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汪启军
;
甘志银
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甘志银
;
曹强
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曹强
.
中国专利
:CN108315817A
,2018-07-24
[5]
一种基于MPCVD的单晶金刚石的拼接生长工艺
[P].
张新峰
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机构:
江苏卓远半导体有限公司
江苏卓远半导体有限公司
张新峰
;
吴志亮
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机构:
江苏卓远半导体有限公司
江苏卓远半导体有限公司
吴志亮
;
缪勇
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江苏卓远半导体有限公司
江苏卓远半导体有限公司
缪勇
;
周磊峰
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机构:
江苏卓远半导体有限公司
江苏卓远半导体有限公司
周磊峰
.
中国专利
:CN117587514A
,2024-02-23
[6]
一种大尺寸单晶金刚石的制备方法及大尺寸单晶金刚石
[P].
张道华
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机构:
深圳平湖实验室
深圳平湖实验室
张道华
;
崔新春
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机构:
深圳平湖实验室
深圳平湖实验室
崔新春
;
胡浩林
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机构:
深圳平湖实验室
深圳平湖实验室
胡浩林
.
中国专利
:CN120384327A
,2025-07-29
[7]
一种拼接生长单晶金刚石的方法及系统
[P].
武迪
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武迪
;
朱瑞
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朱瑞
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陈贞君
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陈贞君
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郑大平
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郑大平
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徐元成
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徐元成
;
杨明
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杨明
.
中国专利
:CN108103570A
,2018-06-01
[8]
大尺寸单晶金刚石及其制备方法
[P].
缪勇
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缪勇
;
马懿
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马懿
.
中国专利
:CN114232091A
,2022-03-25
[9]
大尺寸单晶金刚石及其制备方法
[P].
缪勇
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机构:
苏州贝莱克金刚石科技有限公司
苏州贝莱克金刚石科技有限公司
缪勇
;
马懿
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机构:
苏州贝莱克金刚石科技有限公司
苏州贝莱克金刚石科技有限公司
马懿
.
中国专利
:CN114232091B
,2024-05-10
[10]
一种基于侧面键合拼接生长大尺寸单晶金刚石的方法
[P].
论文数:
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机构:
刘金龙
;
论文数:
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机构:
王鹏
;
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机构:
乔冠中
;
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机构:
李淑同
;
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机构:
赵上熳
;
朱梓灵
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机构:
北京科技大学
北京科技大学
朱梓灵
;
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机构:
李成明
;
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机构:
魏俊俊
;
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机构:
陈良贤
;
论文数:
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机构:
郑宇亭
;
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机构:
欧阳晓平
;
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机构:
张建军
.
中国专利
:CN115261982B
,2024-01-26
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