晶圆检测方法、检测装置及计算机可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011637862.7

申请日：

2020-12-31

公开(公告)号：

CN112687571A

公开(公告)日：

2021-04-20

发明(设计)人：

陈鲁李少雷马砚忠张朝前王兵王彦彦张嵩

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L2167 G01S1346 G01S1546 G01S1748 G06M108

代理机构：

深圳壹舟知识产权代理事务所(普通合伙) 44331

代理人：

寇闯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20201231
2021-04-20	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质 [P].

刘洁 ;

冯朋 ;

陈代高 ;

肖希 ;

程庚 ;

范雨龙 ;

周旭 .

中国专利 :CN119599975A ,2025-03-11

[2]

晶圆检测方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质 [P].

谢真良 .

中国专利 :CN113781451A ,2021-12-10

[3]

检测装置、检测方法及计算机可读存储介质 [P].

王雅雄 ;

邓杨春 ;

丁卫涛 .

中国专利 :CN111736376A ,2020-10-02

[4]

检测方法、检测装置及计算机可读存储介质 [P].

胡正东 ;

陈晶 .

中国专利 :CN113538337B ,2024-02-27

[5]

检测方法、检测装置及计算机可读存储介质 [P].

关姝 ;

王卉 .

中国专利 :CN111757097A ,2020-10-09

[6]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

张嵩 ;

肖安七 .

中国专利 :CN117853392A ,2024-04-09

[7]

检测方法、检测装置及计算机可读存储介质 [P].

胡正东 ;

陈晶 .

中国专利 :CN113538337A ,2021-10-22

[8]

晶圆缺陷检测方法、装置、系统和计算机可读存储介质 [P].

陈鲁 ;

肖安七 ;

张嵩 .

中国专利 :CN117853394A ,2024-04-09

[9]

晶圆检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质 [P].

倪桂彬 ;

薛英武 .

中国专利 :CN115579304A ,2023-01-06

[10]

晶圆检测方法、装置、计算机设备及可读存储介质 [P].

李国正 ;

杨延竹 ;

于波 ;

张华 .

中国专利 :CN118096678A ,2024-05-28

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