微机械结构体系统及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680012509.1

申请日：

2006-04-14

公开(公告)号：

CN101160257A

公开(公告)日：

2008-04-09

发明(设计)人：

梶野修富田浩稔虫鹿由浩

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

B81B300

IPC分类号：

B81C100 B81C300 G02B2608

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

汪惠民

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-12	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101061480452 IPC(主分类):B81B 3/00 专利申请号:2006800125091 公开日:20080409
2008-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

微机械结构及其制造方法 [P].

U·施密德 ;

G·德尼弗尔 ;

T·弗里施穆斯 ;

T·格里勒 ;

U·赫德尼格 ;

P·伊尔西格勒 ;

M·卡恩 ;

D·莫勒 ;

M·施奈德 .

中国专利 :CN106185781B ,2016-12-07

[2]

微机械结构及其制造方法 [P].

U·施密德 ;

T·弗里施穆斯 ;

P·伊尔斯格勒 ;

T·格里勒 ;

D·莫勒 ;

U·赫德尼格 ;

M·卡恩 ;

G·德尼弗尔 .

中国专利 :CN105314587B ,2016-02-10

[3]

微机械结构和制造微机械结构的方法 [P].

苏迪兰赞·特里帕斯 ;

维克纳什·s/o·莎姆伽纳赞 .

中国专利 :CN101583559B ,2009-11-18

[4]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

A·乌尔班 ;

J·赖因穆特 ;

L·富克斯 ;

T·弗里德里希 .

中国专利 :CN113548637A ,2021-10-26

[5]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

J·克拉森 .

中国专利 :CN103213934A ,2013-07-24

[6]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

J·克拉森 ;

C·比尔霍夫 .

中国专利 :CN102030302A ,2011-04-27

[7]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

G.德尼夫尔 ;

T.弗里施穆特 ;

T.格里勒 ;

U.黑德尼希 ;

M.卡恩 ;

D.毛雷尔 ;

U.施密德 ;

M.施奈德 .

中国专利 :CN107539942B ,2018-01-05

[8]

微机械结构和用于制造微机械结构的方法 [P].

B·维森特 .

中国专利 :CN111315916B ,2020-06-19

[9]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

J·克拉森 ;

J·莱茵穆特 ;

S·京特 ;

P·布斯蒂安-托多罗娃 .

中国专利 :CN102951601B ,2013-03-06

[10]

微机械热结构和制造该微机械结构的方法 [P].

D·J·布罗尔 ;

G·N·莫尔 ;

C·M·R·德维茨 .

中国专利 :CN1729086B ,2006-02-01

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