一种镀膜载板

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023060337.1

申请日：

2020-12-17

公开(公告)号：

CN213958938U

公开(公告)日：

2021-08-13

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

242074 安徽省宣城市宣城经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L3118 H01L310745 C23C16458 C23C1650

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

彭一波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型PECVD上镀膜载板 [P].

武同乐 ;

张金伟 ;

陈哲 .

中国专利 :CN203820885U ,2014-09-10

[2]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN103602960A ,2014-02-26

[3]

板式PECVD镀膜载板 [P].

叶权华 ;

郑飞 .

中国专利 :CN203683660U ,2014-07-02

[4]

一种上镀膜载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN207852707U ,2018-09-11

[5]

一种用于双面镀膜的载板 [P].

周桂宏 .

中国专利 :CN208767325U ,2019-04-19

[6]

一种电池片镀膜载板 [P].

黄涛 ;

殷实 ;

洪承健 ;

张泽 ;

陈剑 ;

李齐龙 ;

张辉 .

中国专利 :CN216487982U ,2022-05-10

[7]

一种镀膜载板缓存输送装置 [P].

李安 .

中国专利 :CN220925262U ,2024-05-10

[8]

一种镀膜载板托举定位输送装置 [P].

李安 .

中国专利 :CN221141860U ,2024-06-14

[9]

一种用于下镀膜的硅片载板 [P].

高晗 ;

刘小明 ;

丁红霞 .

中国专利 :CN117867475A ,2024-04-12

[10]

一种镀膜载板 [P].

吴建晓 .

中国专利 :CN215560655U ,2022-01-18

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