光刻装置、器件制造方法以及相关的数据处理装置和计算机程序产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780022917.3

申请日：

2017-02-07

公开(公告)号：

CN108885414A

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

H·E·切克利 M·伊什巴士 L·P·范迪克 R·J·F·范哈伦柳星兰 R·M·琼格布拉特 C·M·阿芬陶诗艾格 R·H·J·奥腾

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张昊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	授权	授权
2018-11-23	公开	公开
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20170207

共 50 条

[1]

光刻设备、器件制造方法和相关的数据处理设备以及计算机程序产品 [P].

B·门奇奇科夫 ;

A·V·帕迪瑞 .

中国专利 :CN102763040B ,2012-10-31

[2]

数据处理装置、数据处理方法以及计算机程序 [P].

栗泽勇 ;

内堀富胜 ;

山崎佳代 ;

松岛均 .

中国专利 :CN113228378A ,2021-08-06

[3]

数据处理装置、数据处理方法和计算机程序 [P].

森本直树 ;

有留宪一郎 ;

磯部幸雄 ;

前笃 .

中国专利 :CN101536504B ,2009-09-16

[4]

数据处理装置和数据处理方法、以及计算机程序 [P].

森本直树 ;

有留宪一郎 ;

矶部幸雄 ;

前笃 .

中国专利 :CN101502105A ,2009-08-05

[5]

数据处理装置、通信方法以及计算机程序 [P].

深泽伸朗 .

中国专利 :CN1773914A ,2006-05-17

[6]

用于传输数据的方法、数据处理装置和计算机程序产品 [P].

D·迪内斯库 .

中国专利 :CN101163146A ,2008-04-16

[7]

数据处理方法、装置以及计算机程序产品 [P].

付浩 ;

王兆奇 .

中国专利 :CN120909509A ,2025-11-07

[8]

数据处理方法、装置以及计算机程序产品 [P].

游雲霞 ;

丁利杰 ;

黄达一 ;

邓天鹏 .

中国专利 :CN119807390A ,2025-04-11

[9]

数据处理方法、装置以及计算机程序产品 [P].

王忠新 ;

王衡阳 ;

李阳 ;

罗雄清 ;

徐奕成 ;

刘长波 .

中国专利 :CN119597902A ,2025-03-11

[10]

数据处理方法、装置以及计算机程序产品 [P].

付浩 ;

王兆奇 .

中国专利 :CN120909671A ,2025-11-07

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