涂胶显影机用晶圆升降装置及涂胶显影机

被引：0

申请号：

CN202211183606.4

申请日：

2022-09-27

公开(公告)号：

CN115483143A

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

文龙虎

申请人：

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

G03F716 H01L21687

代理机构：

北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718

代理人：

黄贞君;郑纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20220927
2022-12-16	公开	公开

共 50 条

[1]

涂胶显影机 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN306079389S ,2020-09-29

[2]

涂胶显影机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

杨涛 .

中国专利 :CN309071624S ,2025-01-14

[3]

涂胶显影机 [P].

姜天明 ;

张建 ;

郭亚内 .

中国专利 :CN307811822S ,2023-01-24

[4]

涂胶显影机 [P].

黄良志 .

中国专利 :CN101894736A ,2010-11-24

[5]

涂胶显影机 [P].

金浩天 ;

孙游 ;

张庆久 .

中国专利 :CN307726246S ,2022-12-13

[6]

涂胶显影机 [P].

邵圣 .

中国专利 :CN309560266S ,2025-10-24

[7]

晶元涂胶显影机 [P].

王岳天 ;

洪旭东 ;

齐志崴 .

中国专利 :CN304869517S ,2018-10-30

[8]

一种涂胶显影机用晶圆升降装置 [P].

周修斌 ;

安礼余 .

中国专利 :CN120328428A ,2025-07-18

[9]

一种晶圆涂胶显影机 [P].

钟兴进 .

中国专利 :CN214896207U ,2021-11-26

[10]

涂胶显影机清洁装置 [P].

张建峰 ;

蔡奇澄 ;

张书庆 ;

张健 ;

卢健 ;

王军 .

中国专利 :CN201392817Y ,2010-01-27

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