硅片清洗水循环系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201220750158.7

申请日：

2012-12-31

公开(公告)号：

CN202983385U

公开(公告)日：

2013-06-12

发明(设计)人：

苏慧

申请人：

申请人地址：

261061 山东省潍坊市高新区潍安路与桃园街交界处7903号

IPC主分类号：

B01D3502

IPC分类号：

B01D2911

代理机构：

潍坊正信专利事务所 37216

代理人：

王秀芝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	授权	授权
2019-12-20	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B01D 35/02 申请日:20121231 授权公告日:20130612 终止日期:20181231

共 50 条

[1]

硅片清洗机溢流纯水循环系统 [P].

王飞 .

中国专利 :CN203540995U ,2014-04-16

[2]

热水循环系统 [P].

贺晓华 .

中国专利 :CN203177316U ,2013-09-04

[3]

安全水循环系统 [P].

朱正 ;

王炤文 ;

刘旭东 ;

李长宝 .

中国专利 :CN203167500U ,2013-08-28

[4]

安全水循环系统 [P].

朱正 ;

王炤文 ;

刘旭东 ;

李长宝 .

中国专利 :CN103179845B ,2013-06-26

[5]

冷水循环系统 [P].

焦魏 ;

张升 ;

袁昆鹏 ;

蓝晓勇 .

中国专利 :CN207622330U ,2018-07-17

[6]

水浴杀菌水循环系统 [P].

王勇 ;

王勇辉 ;

俞春山 .

中国专利 :CN214547013U ,2021-11-02

[7]

水循环装置及水循环系统 [P].

陈伟 ;

朱亮 ;

柳小敏 .

中国专利 :CN110713278B ,2020-01-21

[8]

硅片清洗机溢流纯水循环系统 [P].

王飞 .

中国专利 :CN104624552A ,2015-05-20

[9]

一种免保温的管道水循环系统 [P].

位进强 ;

高建国 ;

高宇 ;

于新元 ;

薛岩 ;

成思文 ;

蔡兴德 ;

刘雷浩 ;

史永乐 ;

魏恒 ;

位欣蕊 ;

付坤 ;

李春付 ;

刘长春 .

中国专利 :CN114427241A ,2022-05-03

[10]

环保水循环系统 [P].

易境 ;

侯丹 ;

韩红波 ;

巢真 .

中国专利 :CN211987496U ,2020-11-24

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