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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-12-11 | 授权 | 授权 |
| 2017-06-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729177383 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2016800011658 申请日:20160128 |
| 2019-02-26 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/004 登记生效日:20190201 变更事项:专利权人 变更前权利人:互应化学工业株式会社 变更后权利人:互应化学工业株式会社 变更事项:地址 变更前权利人:日本京都府 变更后权利人:日本京都府 变更事项:共同专利权人 变更前权利人:新日铁住金化学株式会社 变更后权利人:日铁化学材料株式会社 |
| 2017-05-31 | 公开 | 公开 |