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一种离子源
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121598251.6
申请日：
2021-07-14
公开(公告)号：
CN215008131U
公开(公告)日：
2021-12-03
发明(设计)人：
张继朋
魏国军
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
IPC主分类号：
H01J304
IPC分类号：
C23C1422
代理机构：
北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794
代理人：
杨华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-03 | 授权 | 授权 |