一种静电吸附器的清洗装置

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申请号
CN202222506634.7
申请日
2022-09-20
公开(公告)号
CN218359953U
公开(公告)日
2023-01-24
发明(设计)人
杨西潞 邢军 扶小军 范伟
申请人
申请人地址
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇晨丰东路155号3号房
IPC主分类号
B03C378
IPC分类号
代理机构
深圳博敖专利代理事务所(普通合伙) 44884
代理人
李梦楠
法律状态
授权
国省代码
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