一种单晶炉放空氩尾气全回收装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202120490022.6
申请日
2021-03-08
公开(公告)号
CN214950679U
公开(公告)日
2021-11-30
发明(设计)人
孙宁 肖龙昆 黄岩岩
申请人
申请人地址
215131 江苏省苏州市相城经济开发区澄波路989号
IPC主分类号
F27D1700
IPC分类号
代理机构
苏州创元专利商标事务所有限公司 32103
代理人
孙仿卫
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶炉尾气连续在线回收装置 [P]. 
朱刚 ;
汪涛 ;
封红军 .
中国专利 :CN211712639U ,2020-10-20
[2]
一种提高单晶炉尾气氩气回收效率的装置 [P]. 
王耀亮 .
中国专利 :CN207276777U ,2018-04-27
[3]
氩尾气回收装置 [P]. 
王凯 .
中国专利 :CN211069080U ,2020-07-24
[4]
一种单晶炉尾气净化回收系统 [P]. 
冯忠意 ;
牛聪明 ;
代井平 ;
李建新 .
中国专利 :CN217247655U ,2022-08-23
[5]
一种单晶炉氩气尾气处理装置 [P]. 
朱刚 ;
苏勇刚 ;
郝文炳 .
中国专利 :CN215138624U ,2021-12-14
[6]
氩尾气回收装置 [P]. 
王凯 .
中国专利 :CN110368709A ,2019-10-25
[7]
氩尾气回收装置 [P]. 
王凯 .
中国专利 :CN110368709B ,2024-10-29
[8]
一种单晶炉尾气的氩气回收系统 [P]. 
陈杜秋 ;
周洪富 ;
胡楚汉 ;
鲜洪 ;
周林杰 ;
梁旭松 ;
铉令智 ;
代雄军 ;
唐健勇 .
中国专利 :CN220376365U ,2024-01-23
[9]
一种单晶炉尾气连续在线回收装置及方法 [P]. 
朱刚 ;
汪涛 ;
封红军 .
中国专利 :CN111115593A ,2020-05-08
[10]
一种单晶炉尾气连续在线回收装置及方法 [P]. 
朱刚 ;
汪涛 ;
封红军 .
中国专利 :CN111115593B ,2024-03-26