一种可在湿法腐蚀下实现样片单面保护的夹具及其加工装配方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910725322.5

申请日：

2019-08-07

公开(公告)号：

CN110491824A

公开(公告)日：

2019-11-22

发明(设计)人：

夏敦柱王浩

申请人：

申请人地址：

211102 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204

代理人：

徐红梅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-19	授权	授权
2019-11-22	公开	公开
2019-12-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20190807

共 50 条

[1]

一种单面湿法腐蚀的夹具 [P].

夏永禄 ;

刘端 .

中国专利 :CN218241803U ,2023-01-06

[2]

一种无损晶圆的湿法腐蚀保护夹具 [P].

杨青 ;

徐鹏飞 .

中国专利 :CN105405802A ,2016-03-16

[3]

一种用于湿法腐蚀的夹具 [P].

吴魁熙 ;

赵建村 ;

虞益挺 ;

李文丽 ;

严宇超 .

中国专利 :CN221201145U ,2024-06-21

[4]

一种可放置磁力搅拌子的湿法腐蚀夹具 [P].

邢雨晴 ;

董俊 ;

侯志尧 ;

陈凯 .

中国专利 :CN117637590A ,2024-03-01

[5]

一种MEMS体硅湿法加工工艺单面保护装置 [P].

付博 .

中国专利 :CN204138342U ,2015-02-04

[6]

一种微纳结构的湿法腐蚀方法及其腐蚀装置 [P].

严远 ;

杨芳 ;

王玮 ;

罗葵 ;

田大宇 ;

刘鹏 ;

李婷 ;

张大成 .

中国专利 :CN102157352A ,2011-08-17

[7]

一种背部湿法腐蚀工艺中的正面保护装置 [P].

葛彦杰 ;

曹慧通 ;

郑自菲 ;

徐新玉 .

中国专利 :CN220984476U ,2024-05-17

[8]

一种基于湿法腐蚀的薄膜图形刻蚀方法 [P].

陈瑶 ;

丁颖 ;

苏向斌 ;

倪海桥 ;

陈鹏 ;

赵涛 .

中国专利 :CN112185813A ,2021-01-05

[9]

一种湿法腐蚀装置及其使用方法 [P].

陈敏 ;

马清杰 .

中国专利 :CN104201135B ,2014-12-10

[10]

一种枪钻加工用过载保护装置及其装配方法 [P].

李敬伟 ;

赵吉明 ;

朱铁强 ;

孙自龙 ;

战伯良 ;

曹振松 ;

刘铸 ;

冯龙明 .

中国专利 :CN109940202A ,2019-06-28

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