一种测压硅片、测压方法及光刻设备

被引：0

申请号：

CN202110874978.0

申请日：

2021-07-30

公开(公告)号：

CN115685689A

公开(公告)日：

2023-02-03

发明(设计)人：

游继光李先明

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

马迪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-02-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种测压装置及测压方法 [P].

冉林 ;

熊建军 ;

易贤 ;

赵照 ;

张鸿健 ;

李自雨 ;

张轲 .

中国专利 :CN112326189B ,2021-02-05

[2]

一种测压组件及测压方法 [P].

陶明 ;

贾玉春 ;

徐源泉 ;

赵瑞 ;

向恭梁 ;

洪志先 ;

杨政 ;

邱贤朋 ;

赵启政 ;

隋易坤 .

中国专利 :CN118363066A ,2024-07-19

[3]

瓦斯测压装置及瓦斯测压方法 [P].

周伟 ;

詹绍奇 ;

马赞 ;

汪峰荣 ;

曹道舜 ;

彭行球 ;

马嘉星 .

中国专利 :CN111502641A ,2020-08-07

[4]

一种测压引流导管及其测压方法 [P].

符宝敏 ;

马进显 ;

姚政 .

中国专利 :CN105457144A ,2016-04-06

[5]

一种基于物联网智能燃气测压方法及测压装置 [P].

曾文勇 ;

宋柳 ;

陈雪华 ;

陈锐潮 ;

宗杰文 ;

何海萍 ;

李伟棠 .

中国专利 :CN113029471A ,2021-06-25

[6]

机械膨胀式封孔测压装置及测压方法 [P].

张嘉勇 ;

周凤增 ;

王凯 ;

郑庆学 ;

郭达 ;

武建国 ;

关联合 ;

郑晓民 ;

张新双 ;

崔啸 .

中国专利 :CN107503740A ,2017-12-22

[7]

一种多功能注水管柱及测压方法及测压短节 [P].

黄志宏 ;

王旱祥 ;

刘延鑫 ;

鲍蕊 .

中国专利 :CN108374653A ,2018-08-07

[8]

一种二元包装气雾测压装置及测压方法 [P].

陈开颜 .

中国专利 :CN117816576A ,2024-04-05

[9]

一种便捷式油田注水高效分层测压装置及测压方法 [P].

邵立新 ;

付贵春 ;

张继路 ;

王赫然 ;

胡铁刚 ;

屠乃坤 ;

费爱辉 ;

于源 ;

李德辉 ;

徐志峰 .

中国专利 :CN117948131A ,2024-04-30

[10]

一种智能扩张器测压计和测压方法 [P].

陈国成 ;

周栩 ;

尹宁北 ;

李海东 .

中国专利 :CN106154884A ,2016-11-23

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