六氯乙硅烷机台及其保养维护方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410141318.1

申请日：

2014-04-08

公开(公告)号：

CN104073777A

公开(公告)日：

2014-10-01

发明(设计)人：

陈志平俞玮万家俊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

IPC主分类号：

C23C1644

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

王宏婧

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/44 申请公布日:20141001
2014-10-01	公开	公开
2014-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587978123 IPC(主分类):C23C 16/44 专利申请号:2014101413181 申请日:20140408

共 50 条

[1]

生产六氯乙硅烷的方法 [P].

桐井精一 ;

生川满敏 ;

竹末久幸 .

中国专利 :CN1392862A ,2003-01-22

[2]

六氯乙硅烷合成装置 [P].

顾大公 ;

徐耀中 ;

董礼 ;

范广鹏 ;

刘志军 ;

顾逸凡 ;

许从应 ;

林俊元 .

中国专利 :CN207918447U ,2018-09-28

[3]

生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统 [P].

陶刚义 .

中国专利 :CN112645336B ,2021-04-13

[4]

一种六氯乙硅烷及其制备方法 [P].

胡红亮 ;

卢迪锋 ;

汪海燕 ;

朱思坤 ;

李建恒 .

中国专利 :CN116854100B ,2024-01-05

[5]

六氯乙硅烷的回收方法 [P].

郭树虎 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

刘见华 ;

李云昊 ;

杨典 .

中国专利 :CN106966397A ,2017-07-21

[6]

六氯乙硅烷的合成方法 [P].

丁玉强 ;

王大伟 ;

龚雁 ;

许从应 ;

杜立永 .

中国专利 :CN103011173B ,2013-04-03

[7]

六氯乙硅烷的回收装置 [P].

郭树虎 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

刘见华 ;

李云昊 ;

杨典 .

中国专利 :CN106946261A ,2017-07-14

[8]

六氯乙硅烷的回收装置 [P].

郭树虎 ;

赵雄 ;

万烨 ;

严大洲 ;

刘见华 ;

李云昊 ;

杨典 .

中国专利 :CN206767657U ,2017-12-19

[9]

电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用 [P].

孙江桥 ;

吴鹏 ;

张正阳 ;

马一雷 ;

徐玲锋 ;

吴锋 ;

田新 ;

蒋文武 .

中国专利 :CN115594183A ,2023-01-13

[10]

制备高纯度六氯乙硅烷的方法 [P].

W·克尼斯 ;

K·伯格尔沙森 ;

H·艾博迈尔 .

中国专利 :CN101815672A ,2010-08-25

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