一种用于晶圆镀膜的固定装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021034290.9

申请日：

2020-06-08

公开(公告)号：

CN212010929U

公开(公告)日：

2020-11-24

发明(设计)人：

王林李菲

申请人：

申请人地址：

710018 陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21673 H01L21687 C23C1450

代理机构：

西安通大专利代理有限责任公司 61200

代理人：

姚咏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-11-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于晶圆镀膜的固定装置及其使用方法 [P].

王林 ;

李菲 .

中国专利 :CN111554608A ,2020-08-18

[2]

晶圆固定装置及晶圆磨边装置 [P].

黄飞鹏 ;

陈秋绘 ;

赵树明 ;

何宇昆 ;

农利锦 .

中国专利 :CN222986534U ,2025-06-17

[3]

一种晶圆的夹持固定装置 [P].

吕凯旋 .

中国专利 :CN222071921U ,2024-11-26

[4]

一种晶圆固定装置及晶圆镀膜设备 [P].

李冯意郎 ;

施敏 ;

官亚洲 ;

刘洋 .

中国专利 :CN220619099U ,2024-03-19

[5]

晶圆固定装置 [P].

朱玉萍 ;

岑刚 .

中国专利 :CN203288574U ,2013-11-13

[6]

晶圆固定装置 [P].

史蒂文·贺·汪 .

中国专利 :CN212404337U ,2021-01-26

[7]

晶圆固定装置 [P].

雷清龚 .

中国专利 :CN202189772U ,2012-04-11

[8]

晶圆固定装置 [P].

任雄 ;

蒲耀川 ;

武可宏 ;

李美 .

中国专利 :CN116240516B ,2025-02-11

[9]

晶圆固定装置 [P].

陈鲁 ;

张朝前 ;

马砚忠 ;

李少雷 .

中国专利 :CN207542224U ,2018-06-26

[10]

用于晶圆搬运的圆锅固定装置 [P].

王琪 ;

赵洪建 ;

郑旭海 .

中国专利 :CN216597527U ,2022-05-24

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