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一种AF蒸镀锭
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202022379065.5
申请日
:
2020-10-22
公开(公告)号
:
CN213507165U
公开(公告)日
:
2021-06-22
发明(设计)人
:
王伟雄
梁育明
申请人
:
申请人地址
:
361000 福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔星路88号台湾科技企业育成中心北E706D室
IPC主分类号
:
C23C1426
IPC分类号
:
C23C1412
代理机构
:
厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218
代理人
:
方惠春
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-22
授权
授权
共 50 条
[1]
一种镀膜蒸镀AF药丸
[P].
宫秀明
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宫秀明
;
曾桂阳
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曾桂阳
;
王久文
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王久文
.
中国专利
:CN215243361U
,2021-12-21
[2]
一种蒸镀设备
[P].
李元虎
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李元虎
;
马大伟
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马大伟
;
王玉
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王玉
.
中国专利
:CN103526164A
,2014-01-22
[3]
一种蒸镀坩埚
[P].
范超龙
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范超龙
;
贾晓晨
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贾晓晨
;
张学政
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张学政
;
刘锦东
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刘锦东
.
中国专利
:CN207998637U
,2018-10-23
[4]
一种蒸镀装置
[P].
不公告发明人
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不公告发明人
.
中国专利
:CN210529032U
,2020-05-15
[5]
一种蒸镀坩埚
[P].
何瑞亭
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何瑞亭
;
李晓康
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李晓康
.
中国专利
:CN206337305U
,2017-07-18
[6]
一种半遮挡AF蒸镀夹具
[P].
范辛
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范辛
.
中国专利
:CN208995587U
,2019-06-18
[7]
一种蒸镀晶片承放架
[P].
刘铭
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刘铭
.
中国专利
:CN207567339U
,2018-07-03
[8]
一种晶振模块、蒸镀系统、及其蒸镀方法
[P].
茆胜
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茆胜
.
中国专利
:CN113621932A
,2021-11-09
[9]
一种蒸镀组件、蒸镀腔室及蒸镀装置
[P].
徐鹏
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徐鹏
.
中国专利
:CN206692717U
,2017-12-01
[10]
一种蒸镀源盖板、蒸镀源及蒸镀装置
[P].
胡长奇
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胡长奇
;
郭书鹏
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郭书鹏
.
中国专利
:CN206512268U
,2017-09-22
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