一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721422921.2

申请日：

2017-10-31

公开(公告)号：

CN207337074U

公开(公告)日：

2018-05-08

发明(设计)人：

谭艾英杨若夫孙秀辉尹韶云蔡文涛陈建军

申请人：

申请人地址：

400714 重庆市北碚区水土镇方正大道266号中国科学院重庆绿色智能技术研究院

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) 11531

代理人：

李宏伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机 [P].

谭艾英 ;

杨若夫 ;

孙秀辉 ;

尹韶云 ;

蔡文涛 ;

陈建军 .

中国专利 :CN107589636A ,2018-01-16

[2]

紫外曝光机的曝光装置以及紫外曝光机 [P].

邢大为 .

中国专利 :CN216901328U ,2022-07-05

[3]

紫外LED曝光机 [P].

张方德 ;

王玉璋 ;

贺兴志 ;

李小明 .

中国专利 :CN203414733U ,2014-01-29

[4]

紫外LED曝光机光学曝光照明系统及紫外LED曝光机 [P].

张方德 ;

王玉璋 ;

贺兴志 ;

李小明 .

中国专利 :CN103513518A ,2014-01-15

[5]

曝光机用紫外曝光灯 [P].

石笑 ;

周镇涛 ;

范升月 ;

吴珮瑜 .

中国专利 :CN223217780U ,2025-08-12

[6]

一种紫外曝光机 [P].

林丹 ;

潘守兴 ;

朱丽娟 ;

林磊 .

中国专利 :CN201122230Y ,2008-09-24

[7]

一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源 [P].

陈建军 ;

邹林 ;

尹韶云 ;

江海波 ;

谭军 ;

顾海霞 .

中国专利 :CN213399200U ,2021-06-08

[8]

一种旋转紫外曝光机 [P].

覃佐波 ;

刘莎莉 .

中国专利 :CN208270946U ,2018-12-21

[9]

一种曝光机紫外曝光灯安装夹具 [P].

朱海光 .

中国专利 :CN210005854U ,2020-01-31

[10]

紫外LED光刻曝光装置 [P].

龚旭 ;

周爱东 .

中国专利 :CN211718691U ,2020-10-20

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