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一种石墨舟尺寸检测装置及其使用方法

被引：0
申请号：
CN202211436998.0
申请日：
2022-11-16
公开(公告)号：
CN115507756A
公开(公告)日：
2022-12-23
发明(设计)人：
杜彦霞 孙永建 毛志勇
申请人：
申请人地址：
264006 山东省烟台市开发区绍兴路19号内6号鸿立工业园F栋1层
IPC主分类号：
G01B1102
IPC分类号：
B25B1100
代理机构：
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人：
丁杨
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/02 申请日:20221116
2022-12-23 公开 公开
共 50 条
[1]
一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法 [P]. 
王志远 .
中国专利 :CN115332103A ,2022-11-11
[2]
一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法 [P]. 
王志远 .
中国专利 :CN115332103B ,2025-05-30
[3]
一种石墨舟清洗装置及使用方法 [P]. 
朱浩 ;
万柳斌 ;
吴朋朋 ;
张基勇 ;
蒋柱 ;
范洵 ;
刘阳 .
中国专利 :CN113020084B ,2024-10-11
[4]
一种石墨舟清洗装置及使用方法 [P]. 
朱浩 ;
万柳斌 ;
吴朋朋 ;
张基勇 ;
蒋柱 ;
范洵 ;
刘阳 .
中国专利 :CN113020084A ,2021-06-25
[5]
一种纸管尺寸检测装置及其使用方法 [P]. 
朱怀松 ;
沈伏根 .
中国专利 :CN120101724A ,2025-06-06
[6]
一种纸管尺寸检测装置及其使用方法 [P]. 
朱怀松 ;
沈伏根 .
中国专利 :CN120101724B ,2025-10-28
[7]
一种可调节的石墨舟压制装置及其使用方法 [P]. 
王刘军 ;
何雄 ;
顾明明 .
中国专利 :CN117774429B ,2024-07-26
[8]
一种可调节的石墨舟压制装置及其使用方法 [P]. 
王刘军 ;
何雄 ;
顾明明 .
中国专利 :CN117774429A ,2024-03-29
[9]
一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法 [P]. 
董泽 .
中国专利 :CN115642122A ,2023-01-24
[10]
一种用于承载硅片的石墨舟及其使用方法 [P]. 
董泽 .
中国专利 :CN115642122B ,2025-10-03
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