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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-09 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G01J 5/00 申请日:20120823 授权公告日:20130807 |
| 2018-03-09 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01J 5/00 登记生效日:20180214 变更事项:专利权人 变更前权利人:中国科学院微电子研究所 变更后权利人:北京中科微知识产权服务有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:100029 北京市朝阳区北土城西路3号 变更后权利人:101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖南四街25号院3号楼307号 |
| 2013-08-07 | 授权 | 授权 |