硅片制绒清洗机用反应腐蚀槽

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720606099.9

申请日：

2017-05-26

公开(公告)号：

CN207002874U

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

王辉

申请人：

申请人地址：

213000 江苏省常州市新北区黄河西路226号

IPC主分类号：

C30B3310

IPC分类号：

H01L2167 H01L3118

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258

代理人：

郑云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-07	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 33/10 申请日:20170526 授权公告日:20180213 终止日期:20200526
2018-02-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片制绒清洗机用恒温反应腐蚀槽 [P].

陈文平 .

中国专利 :CN223284933U ,2025-08-29

[2]

制绒清洗机用制绒槽 [P].

王利 .

中国专利 :CN202430342U ,2012-09-12

[3]

一种硅片制绒清洗机用连体槽 [P].

邵玉林 .

中国专利 :CN206976296U ,2018-02-06

[4]

槽式硅片清洗机（单晶制绒） [P].

邵玉林 ;

翟连方 ;

王瑞银 .

中国专利 :CN309180397S ,2025-03-18

[5]

烟火监测型硅片制绒清洗机 [P].

王辉 .

中国专利 :CN207009407U ,2018-02-13

[6]

硅片清洗制绒槽 [P].

王瑞勋 .

中国专利 :CN201686766U ,2010-12-29

[7]

硅片清洗制绒槽 [P].

王瑞勋 .

中国专利 :CN101831713A ,2010-09-15

[8]

槽式制绒清洗机 [P].

陈磊 .

中国专利 :CN309125459S ,2025-02-18

[9]

一种制绒清洗机用制绒槽 [P].

邵玉林 .

中国专利 :CN107946403A ,2018-04-20

[10]

硅片腐蚀清洗机 [P].

邵树宝 .

中国专利 :CN305544716S ,2020-01-10

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