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一种压电石英传感器镀膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820222802.0
申请日：
2018-02-08
公开(公告)号：
CN207877852U
公开(公告)日：
2018-09-18
发明(设计)人：
周朱华
王祖勇
申请人：
申请人地址：
314000 浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路
IPC主分类号：
C23C1450
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253
代理人：
李伊飏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-09-18 | 授权 | 授权 |
| 2020-02-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/50 申请日:20180208 授权公告日:20180918 终止日期:20190208 |