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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2013-07-24 | 授权 | 授权 |
| 2020-12-22 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):G01N 29/07 登记生效日:20201209 变更事项:专利权人 变更前权利人:天津大学 变更后权利人:太仓佳诚半导体设备有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:300072 天津市南开区卫津路92号 变更后权利人:215400 江苏省苏州市太仓市浮桥镇富桥工业区二期33号 |
| 2012-09-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101320542800 IPC(主分类):G01N 29/07 专利申请号:2011103782670 申请日:20111124 |
| 2012-06-27 | 公开 | 公开 |