一种直拉法单晶炉热场快速冷却装置及冷却方法

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专利类型
发明
申请号
CN201910802106.6
申请日
2019-08-28
公开(公告)号
CN110453277A
公开(公告)日
2019-11-15
发明(设计)人
文勇 孟涛 王海庆 姚亮
申请人
申请人地址
014010 内蒙古自治区包头市昆都仑区金属深加工园区拓业路1号
IPC主分类号
C30B1500
IPC分类号
代理机构
南京经纬专利商标代理有限公司 32200
代理人
石艳红
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种单晶炉热场冷却装置 [P]. 
文勇 ;
孟涛 ;
王海庆 ;
姚亮 .
中国专利 :CN210657215U ,2020-06-02
[2]
一种直拉单晶炉停炉快速冷却热场装置 [P]. 
栗宁 .
中国专利 :CN205821512U ,2016-12-21
[3]
直拉法单晶炉热场结构 [P]. 
冯银辉 .
中国专利 :CN202730297U ,2013-02-13
[4]
一种单晶炉停炉快速冷却热场装置及单晶炉 [P]. 
龚小伦 ;
关树军 ;
张鹏 ;
路建华 ;
李飞剑 ;
杨春祥 .
中国专利 :CN217839203U ,2022-11-18
[5]
一种单晶炉快速冷却装置 [P]. 
侯继伟 .
中国专利 :CN209039629U ,2019-06-28
[6]
一种单晶炉快速冷却装置 [P]. 
侯继伟 .
中国专利 :CN109487336A ,2019-03-19
[7]
一种CZ直拉法单晶炉冷却装置 [P]. 
杨昊 ;
杨剑 ;
孙自阳 .
中国专利 :CN217298082U ,2022-08-26
[8]
直拉单晶炉热场升降装置 [P]. 
徐胜 ;
杨生凯 .
中国专利 :CN202610380U ,2012-12-19
[9]
直拉单晶炉热场装置 [P]. 
李定武 ;
周锐 ;
李侨 .
中国专利 :CN203007469U ,2013-06-19
[10]
一种直拉单晶炉冷却装置 [P]. 
华焱 ;
刘杰 ;
李东 .
中国专利 :CN118773722A ,2024-10-15