基片运送装置和基片运送方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110482822.8

申请日：

2021-04-30

公开(公告)号：

CN113644022A

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

羽岛仁志栃原亨松下道明木山秀和

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21677 H05F302

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;刘芃茜

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基片的运送装置和方法 [P].

U·斯佩尔 ;

K·维贝尔 .

中国专利 :CN1298364A ,2001-06-06

[2]

处理模块、基片处理装置以及基片运送方法 [P].

饭塚洋二 .

中国专利 :CN102034726A ,2011-04-27

[3]

运送机构、运送方法和运送装置 [P].

黄继然 ;

丁兴春 ;

吴照栋 ;

石义康 .

中国专利 :CN115535671A ,2022-12-30

[4]

基片处理装置和基片处理方法 [P].

中岛常长 ;

立石直也 ;

松本惠太 .

日本专利 :CN120527262A ,2025-08-22

[5]

基片处理装置和基片处理方法 [P].

永田广 ;

西山淳 ;

藤原慎 ;

藤原真树 .

中国专利 :CN110634766A ,2019-12-31

[6]

基片处理装置和基片处理方法 [P].

李承焕 ;

山之上友启 ;

广濑虎瑠 ;

网屋通隆 ;

江村智文 .

日本专利 :CN121058078A ,2025-12-02

[7]

基片处理装置和基片处理方法 [P].

守田聪 ;

饱本正巳 ;

森川胜洋 ;

水永耕市 ;

岩下光秋 ;

金子聪 .

中国专利 :CN112740367A ,2021-04-30

[8]

基片处理装置和基片处理方法 [P].

守田聪 ;

饱本正巳 ;

森川胜洋 ;

水永耕市 ;

岩下光秋 ;

金子聪 .

日本专利 :CN112740367B ,2024-07-26

[9]

用纸运送装置和用纸运送方法 [P].

岩仓良惠 ;

冨依稔 ;

村上进 ;

泉英志 .

中国专利 :CN1506779A ,2004-06-23

[10]

薄膜运送装置和薄膜运送方法 [P].

今吉满博 ;

吉方智 .

中国专利 :CN106167186A ,2016-11-30

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