一种超纯氢气纯化装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021767362.0

申请日：

2020-08-21

公开(公告)号：

CN213171461U

公开(公告)日：

2021-05-11

发明(设计)人：

高嵩侯鹏刘超冯玉扉崔冬刘君伟霍金虎杨荣博阮方

申请人：

申请人地址：

110000 辽宁省大连市高新技术产业园区黄浦路782号七层702室

IPC主分类号：

C01B350

IPC分类号：

C01B356

代理机构：

亳州速诚知识产权代理事务所(普通合伙) 34157

代理人：

刘佳

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-11	授权	授权

共 50 条

[1]

多晶硅生产中超纯氢气的纯化装置 [P].

刘铭 ;

朱顺云 ;

侯哲辉 ;

张才利 ;

郭民 ;

危胜 ;

栗一甲 ;

杜斌功 ;

胡亚萍 .

中国专利 :CN208700568U ,2019-04-05

[2]

超纯氨纯化装置 [P].

金向华 ;

丁高松 ;

吴彦敏 .

中国专利 :CN201520645U ,2010-07-07

[3]

超纯氦纯化装置 [P].

许少鹏 ;

何经余 .

中国专利 :CN208586061U ,2019-03-08

[4]

超纯氦纯化装置 [P].

王仲涛 .

中国专利 :CN216662488U ,2022-06-03

[5]

氢气纯化装置 [P].

江晓松 .

中国专利 :CN215558999U ,2022-01-18

[6]

一种超纯氢气纯化自动装置 [P].

彭馨瑶 ;

徐婷婷 ;

籍策 .

中国专利 :CN220386072U ,2024-01-26

[7]

一种超纯氮纯化装置 [P].

金向华 ;

孙猛 .

中国专利 :CN210251543U ,2020-04-07

[8]

一种超纯氢纯化装置 [P].

金向华 ;

孙猛 .

中国专利 :CN209685303U ,2019-11-26

[9]

一种超纯氩纯化装置 [P].

金向华 ;

孙猛 .

中国专利 :CN210251544U ,2020-04-07

[10]

一种超纯氢气纯化方法 [P].

李慧 ;

徐恒泳 ;

唐春华 .

中国专利 :CN109911851A ,2019-06-21

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