一种进气装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110395019.7

申请日：

2011-12-02

公开(公告)号：

CN103137521A

公开(公告)日：

2013-06-05

发明(设计)人：

屈芙蓉胡冬冬刘训春刘杰李超波夏洋

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号中科院微电子所

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01J3732 C23C16455

代理机构：

北京市德权律师事务所 11302

代理人：

刘丽君

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101486722021 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2011103950197 申请日:20111202
2013-06-05	公开	公开
2017-06-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101754631200 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2011103950197 申请公布日:20130605

共 50 条

[1]

一种进气装置 [P].

吴得轶 ;

龙辉 ;

邹刚武 ;

成秋云 .

中国专利 :CN203687639U ,2014-07-02

[2]

进气装置、进气方法及半导体加工设备 [P].

赵雷超 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

纪红 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN111074235A ,2020-04-28

[3]

进气装置、进气方法及半导体加工设备 [P].

赵雷超 ;

史小平 ;

兰云峰 ;

纪红 ;

秦海丰 ;

张文强 .

中国专利 :CN111074235B ,2024-01-05

[4]

一种推板炉进气装置 [P].

黄立刚 ;

张跃进 .

中国专利 :CN206724684U ,2017-12-08

[5]

一种进气装置、进气系统及车辆 [P].

何玉国 ;

刘欣 ;

韩洪滨 .

中国专利 :CN218266132U ,2023-01-10

[6]

一种进气装置 [P].

胡青青 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN208612132U ,2019-03-19

[7]

一种进气装置 [P].

金光 .

中国专利 :CN220603072U ,2024-03-15

[8]

一种进气装置 [P].

乔基奥基隆迪 .

中国专利 :CN205064140U ,2016-03-02

[9]

一种进气装置 [P].

邱仪 ;

王成功 ;

张伟 ;

谢永生 ;

徐强 .

中国专利 :CN207780258U ,2018-08-28

[10]

一种进气装置 [P].

陆磊 ;

徐再 ;

徐凯 ;

赵云龙 .

中国专利 :CN107542607A ,2018-01-05

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