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静电吸盘背面氦气管路结构及氦气压力控制系统
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822241432.8
申请日：
2018-12-29
公开(公告)号：
CN209434145U
公开(公告)日：
2019-09-24
发明(设计)人：
袁鹏华
刘东升
赵骏
申请人：
申请人地址：
201315 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
IPC主分类号：
H01J3732
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
栾美洁
法律状态：
国省代码：
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