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用于聚合物沉积的系统和方法
被引:0
申请号
:
CN202180037530.1
申请日
:
2021-04-15
公开(公告)号
:
CN115667576A
公开(公告)日
:
2023-01-31
发明(设计)人
:
W·姗娜·奥沙赫内斯西
安德鲁·格兰特
凯利·J·伯恩
米切尔·E·斯塔津斯基
希尔顿·普莱斯·刘易斯
申请人
:
申请人地址
:
美国马萨诸塞州
IPC主分类号
:
C23C16448
IPC分类号
:
代理机构
:
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人
:
李新红;陈平
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2023-01-31
公开
公开
共 50 条
[1]
聚合物涂层和用于沉积聚合物涂层的方法
[P].
S·娄里迪
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S·娄里迪
;
E·罗格
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E·罗格
;
F·勒盖恩
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F·勒盖恩
.
中国专利
:CN108141963B
,2018-06-08
[2]
减少聚合物沉积的设备和方法
[P].
A·恩古耶
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
A·恩古耶
;
X·常
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应用材料公司
应用材料公司
X·常
;
S·劳夫
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应用材料公司
应用材料公司
S·劳夫
;
J·A·肯尼
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机构:
应用材料公司
应用材料公司
J·A·肯尼
.
美国专利
:CN111293026B
,2025-08-05
[3]
降低聚合物沉积的方法和装置
[P].
T·D·谢弗
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T·D·谢弗
;
M·F·麦克唐纳
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M·F·麦克唐纳
;
D·Y·钟
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D·Y·钟
;
R·N·韦布
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R·N·韦布
;
D·J·戴维斯
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D·J·戴维斯
;
P·J·赖特
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P·J·赖特
.
中国专利
:CN101641375B
,2010-02-03
[4]
减少聚合物沉积的设备和方法
[P].
A·恩古耶
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A·恩古耶
;
X·常
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X·常
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S·劳夫
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S·劳夫
;
J·A·肯尼
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J·A·肯尼
.
中国专利
:CN111293026A
,2020-06-16
[5]
用于洗衣的沉积助剂聚合物
[P].
M·E·比罗维希
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M·E·比罗维希
;
D·S·莱塔尔
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D·S·莱塔尔
;
R·普鲁克科迪
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R·普鲁克科迪
;
E·沃瑟曼
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E·沃瑟曼
.
中国专利
:CN114341326A
,2022-04-12
[6]
聚合物喷洒沉积方法及系统
[P].
D·M·约翰逊
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D·M·约翰逊
;
A·R·沃尔克尔
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A·R·沃尔克尔
;
V·贝克
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V·贝克
;
J·S·帕施科维茨
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J·S·帕施科维茨
.
中国专利
:CN104802401B
,2015-07-29
[7]
用于制造聚合物的系统和方法
[P].
马克·G·古德
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马克·G·古德
;
凯文·J·凯恩
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凯文·J·凯恩
;
罗纳德·S·艾辛格
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罗纳德·S·艾辛格
;
芭芭拉·J·库普
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芭芭拉·J·库普
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约翰·H·穆尔豪斯
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约翰·H·穆尔豪斯
.
中国专利
:CN102264769A
,2011-11-30
[8]
用于聚合物生产的方法和系统
[P].
M·波拉德
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M·波拉德
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R·D·史温道尔
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R·D·史温道尔
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P·杰恩
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P·杰恩
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A·Y·王
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A·Y·王
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J·鲁巴卡巴
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J·鲁巴卡巴
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S·德厚达普卡
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S·德厚达普卡
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S·W·埃瓦尔特
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S·W·埃瓦尔特
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B·K·布兰卡德
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B·K·布兰卡德
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G·W·小豪恩
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G·W·小豪恩
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M·J·小佐格
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M·J·小佐格
.
中国专利
:CN112292201A
,2021-01-29
[9]
用于管腔内聚合物沉积的设备和方法
[P].
大卫·K·富特
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大卫·K·富特
.
中国专利
:CN105177532A
,2015-12-23
[10]
导电聚合物的沉积
[P].
R·古普塔
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R·古普塔
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A·英格尔
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A·英格尔
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S·纳塔拉彦
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S·纳塔拉彦
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中国专利
:CN1926698B
,2007-03-07
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