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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1997-04-30 | 授权 | 授权 |
| 1994-03-23 | 公开 | 公开 |
| 2001-06-13 | 著录项目变更 | 著录项目变更 变更事项:专利权人 变更前:大同酸素株式会社 变更后:空气及水株式会社 变更事项:地址 变更前:日本大阪府大阪市 变更后:日本北海道札幌市 |
| 2012-07-11 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101288712168 IPC(主分类):C23C 8/26 专利号:ZL931056527 申请日:19930513 授权公告日:19970430 终止日期:20110513 |
| 1995-11-29 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |